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微波等離子清洗機具有激發(fā)頻率高、自偏壓小、離子動能小、離子濃度高、化學反應(yīng)強等特點,可以有效避免靜電損傷、實現(xiàn)均勻的三維清洗,與傳統(tǒng)等離子清洗(中頻或射頻)相比,微波等離子清洗可以產(chǎn)生具有優(yōu)良特性的等離子體,所以微波等離子清洗機在集成電路制程中,尤其是可靠性要求極高的軍用集成電路生產(chǎn)過程中發(fā)揮著舉足輕重的作用,市場前景十分廣闊。