產(chǎn)品簡(jiǎn)介
NE-PE65F是一款半導(dǎo)體行業(yè)專用的真空等離子清洗機(jī)，作為一種精密干法清洗設(shè)備，適用于混合集成電路、單片集成電路管殼和陶瓷基板的清洗；可應(yīng)用于半導(dǎo)體、厚膜電路、元器件封裝前、硅片刻蝕后、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，可去除金屬表面的油脂、油污等有機(jī)物及氧化層。還可應(yīng)用于塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
設(shè)備采用鏡面不銹鋼鈑金，具有優(yōu)異的耐腐蝕性和潔凈度，電極絕緣部分采用陶瓷電極板托條，腔體密封件采用不含氟的材料，有效避免腔體內(nèi)氟元素污染，設(shè)備滿足半導(dǎo)體行業(yè)高潔凈度的要求，雜質(zhì)的去除會(huì)大大提升產(chǎn)品質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)工藝性能的大幅增強(qiáng)，提高良品率及產(chǎn)品可靠性。
設(shè)備應(yīng)用：1、引線鍵合(Wire-bond)前的等離子清洗；2、塑封(Molding)前的等離子清洗；3、底部填充(Under-fill)前的等離子清洗；4、光刻膠的去除（Descum）；5、表面粗化與刻蝕（Etching），使材料易于結(jié)合；
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號(hào) | NE-PE65F |
| 等離子發(fā)生器頻率 | 射頻13.56MHz |
| 功率 | 500W |
| 腔體材質(zhì) | 316 不銹鋼/航空鋁材 |
| 真空泵 | 干泵 |
| 鈑金 | 鏡面不銹鋼 |
| 電極絕緣 | 陶瓷 |
| 腔體容積 | 66L |
| 腔體尺寸 | 400(W)*450(D)*370(H)mm |
| 單層有效處理空間 | 297(W)mm x 364(D)mm |
| 電極板層數(shù) | 6層（可定制） |
| 氣體流量控制器 | 質(zhì)量流量計(jì)0-500SCCM |
| 工藝氣體通道 | 2路（可增加） |
| 外形尺寸 | 905mm(L)×1030mm(W) ×1735 mm(H) |
| 電源供應(yīng) | AC380V,50/60Hz，三相五線100A |
等離子技術(shù)
Support
Copyright@ 2024深圳納恩科技有限公司 All Rights Reserved|
Sitemap
| Powered by 
| 粵ICP備2022035280號(hào)bjhlbygs.com | 備案號(hào)：粵ICP備2022035280號(hào)bjhlbygs.com
