產(chǎn)品簡(jiǎn)介
NE-PE40F是一款中小型真空等離子清洗機(jī)，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體去除材料表面污染物的清洗設(shè)備,設(shè)備采用PLC觸摸屏控制，電源采用自動(dòng)匹配電源，通過(guò)真空泵快速產(chǎn)生一個(gè)1-20 Pa的真空壓強(qiáng)，同時(shí)根據(jù)客戶(hù)工藝要求，對(duì)真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體，使得通入的工藝氣體電離產(chǎn)生等離子體。工作過(guò)程中,等離子體中的高能粒子與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或物理轟擊，使污染物解離、氧化或還原,形成揮發(fā)性產(chǎn)物，進(jìn)而達(dá)到表面污染物的清洗的效果。
NE-PE40F具有如下的優(yōu)點(diǎn)：（1）等離子清洗機(jī)清洗效率高，應(yīng)用范圍廣；（2）對(duì)清洗樣品，沒(méi)有任何外觀尺寸、材質(zhì)等要求；（3）在清洗過(guò)程中，溫升比較小，基本可達(dá)到常溫處理；（4）射頻功率可無(wú)極連續(xù)可調(diào)，高效的特制電極是產(chǎn)生均勻等離子體的保證；（5）特有的過(guò)載、過(guò)熱和短路保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全；（6）設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，安裝與維護(hù)都極為簡(jiǎn)單。
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號(hào) | NE-PE40F |
| 等離子頻率 | 射頻13.56MHz |
| 腔體材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金（可選） |
| 真空泵 | 油泵/干泵（可選） |
| 極限真空度 | 1Pa |
| 功率 | 0-300W（可調(diào)） |
| 腔體尺寸 | 350(L)*405(D)*300(H)mm |
| 腔體容積 | 40L |
| 腔體有效處理面積 | 300（L）×300（D）mm |
| 氣路數(shù)量 | 2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣?/td> |
| 極板間距 | 34mm（可調(diào)整） |
| 處理層數(shù) | 4層 |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 電源 | 220V |
| 外形尺寸 | 685mm(L) X 830m (w) X 1450mm (H) |
等離子技術(shù)
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