產(chǎn)品簡介
NE-PE05是一款小型實驗型等離子表面活化儀，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)。設(shè)備采用CCP電容耦合等離子體發(fā)生方式，整套系統(tǒng)包括真空倉、等離子發(fā)生器、真空泵以及進排氣口，處理室為圓筒形不銹鋼材料?？捎脕硖岣呋砻娓街蛘吒纳票砻嬗H水性，在材料粘接、涂層、基片鍍膜或者鍵合等方面有廣泛應(yīng)用。
主要用途/Applications：1、清洗：去除有機物、氧化物、金屬鹽、納米級微粒污染物等；2、活化：親疏水改性、表面能提升、官能團引入、生物相容性改善等；3、刻蝕：表面圖案化、表面微刻蝕、改變表面形貌粗糙度等；4、鍵合：PDMS等微流控器件鍵合；5、去膠：光刻膠灰化、掃底膜。
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | NE-PE05 |
| 等離子發(fā)生器頻率 | 40KHz |
| 等離子發(fā)生器功率 | 300W |
| 腔體材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 腔體尺寸 | Φ140×270（D）mm |
| 有效處理范圍 | 135（W）*250(D)mm |
| 氣路數(shù)量 | 2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣等 |
| 真空泵 | 干泵/油泵 |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 外形尺寸 | 590mm(L)×565mm(W) ×470 mm(H) |
| 電源 | 220V |
應(yīng)用案例
等離子技術(shù)
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