產(chǎn)品簡介
射頻等離子體去膠機(jī)是一種專門用于去除材料表面膠層或高分子物質(zhì)的設(shè)備，其利用高頻電場產(chǎn)生的等離子體進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，將各種高分子物質(zhì)轉(zhuǎn)化為易于處理的低分子物質(zhì)，從而實(shí)現(xiàn)去膠的目的，這個(gè)工藝通常又被稱為灰化工藝，射頻等離子體去膠技術(shù)是一種高效、環(huán)保的去膠方法，它無需使用化學(xué)溶劑和水,可以有效避免污染和廢棄物處理難題。射頻等離子體去膠機(jī)通常包含射頻電源、反應(yīng)腔體、氣體控制系統(tǒng)和真空系統(tǒng)等部分，射頻電源用于產(chǎn)生高頻電場，反應(yīng)腔體是等離子體產(chǎn)生的場所，氣體控制系統(tǒng)用于控制反應(yīng)氣體的種類和流量，真空系統(tǒng)則用于維持腔體內(nèi)的低壓環(huán)境，促進(jìn)等離子體的形成和化學(xué)反應(yīng)的進(jìn)行，設(shè)備真空腔體里面內(nèi)置若干電極板，可以用于小批量去膠，提高生產(chǎn)效率。
采用氣體離子化的方式來轟擊去除光刻膠，保證了器件的完整性。射頻等離子體去膠機(jī)適用于玻璃、金屬種子層、硅片、壓電陶瓷等各類襯底，通過等離子轟擊不僅可以去除表面的殘膠，還能活化襯底，改善其表面的親水性能。
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | NE-PE13FH |
| 功率 | 0-300W可調(diào) |
| 等離子發(fā)生器 | 射頻13.56 MHz，自動(dòng)阻抗匹配 |
| 腔體材質(zhì) | 316 不銹鋼 |
| 腔體容積 | 13.5L |
| 腔體尺寸 | 240(L)*280(D)*200(H)mm |
| 有效處理面積 | 205(W)×205(D)×30.5(H)mm（8寸晶圓及以下） |
| 處理層數(shù) | 3層 |
| 氣體流量控制器 | MFC質(zhì)量流量計(jì)， 0-300ML |
| 氣路數(shù)量 | 2路（可增加） |
| 極限真空度 | 1PA |
| 真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼真空硅管 測量范圍5×10 -2 ～1.0×10 5 Pa |
| 真空泵 | 干泵/油泵（可選） |
| 控制系統(tǒng) | PLC+觸摸屏 |
| 電源供應(yīng) | 220V |
| 外形尺寸 | 640mm(W)×665mm(D) ×580 mm(H) |
應(yīng)用案例
等離子技術(shù)
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